在半導體制造邁向3nm、2nm甚至更先進制程的今天，工藝環境變得極端嚴苛——高真空、高溫等離子體、強腐蝕性化學品的頻繁考驗，讓設備的可靠性與穩定性成為行業核心痛點。而其中，看似微小的密封圈，實則是決定設備能否安全運行、工藝能否持續穩定的關鍵組件。一旦密封失效，輕則導致設備停機、晶圓報廢，重則引發安全事故，造成數以百萬計的經濟損失。

為什么FFKM全氟醚成為半導體密封的“終 極材料”？

全氟醚橡膠（FFKM）被公認為橡膠密封材料中的“王.者”，其分子結構中完全氟化的特性使其具備近乎極 致的性能：

耐受高溫：長期工作溫度可達300℃以上，短期甚至可承受327℃；

抗等離子體侵蝕：在刻蝕、沉積等設備的高頻等離子體環境中表現穩定；

抗化學腐蝕：對酸、堿、有機溶劑等具有極 佳的抵抗能力；

低析出、低釋氣：滿足超高真空環境要求，避免污染工藝腔室。

正因如此，FFKM已成為高端半導體制造設備（如光刻、蝕刻、CVD/PVD）中不可替代的關鍵密封材料。而要實現FFKM密封圈的高可靠性，材料配方、模具設計、生產工藝任何一個環節都至關重要。

尼可（青島）：中國半導體密封領域的技術突圍者

在FFKM這一長期被海外巨頭主導的高端材料市場中，尼可（青島）高分子科技有限公司正憑借扎實的技術積累與制造實力，成為中國半導體工業密封解決方案的重要推動者。

筆者長期關注半導體供應鏈本土化進程，尼可公司是其中少數真正具備原創研發能力+精密制造體系+全球認證資質的企業。其發展路徑，代表了中國高端橡膠制品從“替代進口”到“領 先創新”的典型跨越。

一、 技術研發：不只是“能做”，更是“能創新”

尼可研發團隊占比超35%，每年研發投入超過營收8%，已獲5項實用新型專利，并完成從全氟醚橡膠、耐高溫橡膠到醫用硅膠等多領域材料突破。公司設立專業材料實驗室與工藝研發中心，可模擬半導體設備中的高真空、等離子體、強腐蝕等極端環境，進行密封方案的定向開發和壽命測試。

這意味著，尼可不僅能夠生產“標準件”，更能為客戶定制開發適用于特定設備與工況的密封產品——而這正是半導體設備商核心的需求。

二、 精密制造：用數字化系統實現“零缺陷”管理

尼可引進德國全自動橡膠注射機、日本三坐標測量儀等精密設備，構建智能化生產線。通過ERP+MES系統實現全流程質量追溯：從原料批次、硫化參數到成品檢測數據全部可回溯。這種近乎“偏執”的質量管控，正是半導體行業對一致性、高可靠性的極 致要求所決定的。

三、 產品矩陣：覆蓋半導體全制造環節

尼可的FFKM密封圈產品體系完整覆蓋半導體設備場景：

真空腔室密封：用于蝕刻、CVD/PVD設備，保障密閉與潔凈；

大口徑密封圈：直徑范圍1mm~9800mm，解決非標設備需求；

包覆密封圈（橡膠+PTFE）：兼顧彈性與抗腐蝕，用于特殊傳輸環境；

晶圓處理組件：包括吸盤、傳輸環等，避免晶圓污染與機械損傷。

這不僅降低了客戶的采購復雜度，也更利于密封系統的匹配性與整體可靠性提升。

四、 材料與認證：從源頭保證可信度

尼可堅持選用杜邦、朗盛、信越、LG化學等全球頂 尖原材料，并通過ROHS、REACH、FDA、SGS等國際認證，符合CE、UL等市場準入要求。這意味著其產品不僅可用于半導體，也能延伸至食品醫藥、航空航天等更苛刻的領域。

五、 全球服務與快速響應

依托青島區位優勢（毗鄰膠東機場與青島港），尼可具備高效的全球交付能力。其“72小時快速樣品響應”“成本優化15%~20%”以及FMEA/PPAP風險管控服務，顯示出以客戶為中心的深度服務能力。目前業務已覆蓋歐美、日韓、東南亞等10余個國家與地區。

結語：FFKM只是起點，供應鏈自主才是終點

在筆者看來，像尼可（青島）高分子科技這樣的企業，正在做的已不僅是“密封圈”的生意，更是通過關鍵零部件的技術突破，支撐中國半導體產業鏈的自主與安全。

2025年，隨著全球半導體產能進一步擴張，以及先進制程的不斷演進，FFKM密封圈的市場需求將持續攀升。而只有真正掌握材料技術、精密工藝與全程質控的企業，才能在這場高門檻的競爭中成為“持續的輸出者”。

尼可公司，值得被行業看見。